- Tytuł:
- Opracowanie i badania warstwowych nanostruktur sensorowych dla optoelektronicznych i rezystancyjnych układów czujnikowych wybranych gazów toksycznych i przemysłowych
- Termin realizacji: ...
- Kierownik:
- prof. dr hab. inż. Marian Urbańczyk
- Źródło finansowania:
- MNiSW
- Opis:
- Celem projektu było opracowanie technologii wytwarzania matrycy gazowych sensorów optycznych i rezystancyjnych w oparciu o nanowarstwy z chemochromicznych tlenków metali, materiałów tlenkowych oraz półprzewodzących polimerów organicznych, np. ftalocyjanin domieszkowanych różnymi metalami. Warstwy sensorowe w postaci matrycy dla detekcji wybranej grupy gazów były nanoszone różnymi technologiami (naparowania próżniowego, reaktywnego rozpylania magnetronowego, rozpylania wiązką elektronów (e-beam) lub metodami nanoszenia warstw z fazy ciekłej. Do detekcji gazów wykorzystano metodę optyczną, opartą o chemechromiczny efekt zmian parametrów optycznych warstw oraz metodę rezystancyjną opartą o pomiar zmian rezystancji elektrycznej warstwy sensorowej podczas oddziaływania z gazem. Badano czujniki wodoru, metanu, amoniaku, tlenków azotu i tlenków węgla.